SAV s „atómovou“ presnosťou

Jedným z projektov Ústavu informatiky SAV, ktorý sa zaoberá aj problematikou mikrotvarovania nanometrových štruktúr, je súčinnosť s Európskou kozmickou agentúrou. Ide o tvarovanie mikroštruktúr pre senzory na sledovanie kozmických (prachových) častíc.

Ústav vyvinul technológiu výroby týchto miniatúrnych, okom neviditeľných senzorov, na základe ktorej ich zhotovila nemecká Technická univerzita v Kasseli. Ide o „výrobok“ s dĺžkou 100 mikrometrov a šírkou 20-krát menšou (priemer ľudského vlasu je 50 až 80 mikrometrov), na ktorých sa vytvoria štruktúry s rozmermi 50 až 80 nanometrov (nanometer je tisícina mikrometra), čo je

na hranici

rozlíšiteľnosti. Senzory poslúžia na sledovanie chvosta kométy P/Wirtanen, ktorá lieta po eliptickej dráhe a pravidelne sa vracia k zemi. Zistia veľkosť týchto častíc a ich energiu. Prístroje na takúto identifikáciu budú raketou vynesené do kozmu v roku 2003 z Guyany a o ďalších osem rokov sa stretne s kométou a preletí cez jej chvost. „Ide o bezpečnosť kozmických zariadení na orbite. Častice z kométy by mohli totiž ovplyvniť alebo dokonca poškodiť činnosť zariadení vysielaných do vesmíru. Druhým poslaním je prispieť k poznaniu vesmíru a jeho zloženia,“ vysvetľuje zmysel projektu vedecký pracovník Oddelenia elektrónovej litografie ÚI SAV Dr. Ing. Pavol Hrkút. Senzory, odborne nazývané cantilevery sú úzke pásiky podobné ceruzke, na ktoré budú dopadať prachové častice a ich energia sa prejaví elektrickým signálom, ktorý sa zosníma a vyšle na Zem. Tieto snímače sú opatrené kremíkovým hrotom potiahnutým uhlíkom, ktorý je tak malý a ostrý, že končí

jediným atómom.

Zdá sa to neuveriteľné, ale P. Hrkút hovorí, že pre nich je to „normálne“.

Na otázku, ako sa niečo také dá vyrobiť, hovorí, že technológiou elektrónovej litografie a suchého plazmochemického alebo reaktívne iónového leptania. Hoci cantilevery a ich snímací hrot sa dajú vidieť len pod silným elektrónovým mikroskopom, teleso hotového celého senzora so zlatými mikrometrovými drôtikmi a kontaktmi je na čipe s rozmermi 5 krát 5 milimetrov. Ten sa potom už dá bez problémov osadiť do prístroja, ktorý bude vynesený do vesmíru.

Vladimír Turanský